全国咨询热线

028-60626365
半导体、光伏行业、新能源氢燃料电池
详情介绍

◆在CZ直拉单晶硅石墨热场中通常会用到高纯度等静压石墨:如保温罩、加热器、三瓣石墨坩埚、埚托、导流筒、石墨电极、电极螺母等。

◆用于等离子体增强化学气相沉积法使用的PECVD石墨舟片、电极座、石墨螺丝、石墨螺帽。

◆用于硅外延设备,表面SiC涂层的立式、盘式、单片式石墨基座,MOCVD制程用sic涂层石墨基座。

◆离子注入用石墨电极、衬块、石墨屏蔽罩等配件,等离子刻蚀用石墨电极,半导体封装制程用模具、高等级模板、治具。

◆感应加热锗氧化物、区熔半导体材料、熔化高纯度金属的石墨坩埚、石墨舟皿及其配件,直拉锗与化合物单晶的高纯石墨加热器、保温罩等。

◆蓝宝石HEM法生产中使用到的高纯度石墨加热器、石墨电极。


  • 四川省都江堰市经济开发区
  • 咨询电话:028-60626365
  • 工作时间:9:00~18:00
  • 516999855@qq.com
  • 联系电话:李先生:13981006510梅先生:18030800584陈先生:13982270206
  • 传真:(升级中)

首页亿博365体育娱乐官网亿博365体育娱乐官网

Copyright © 2018-2022    亿博365体育娱乐官网版权所有        亿博365体育娱乐官网